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随着半导体集成电路技术的发展,对电子气体的纯度和要求越来越高,我国电子气体目前发展目标是增加品种、增加产量、提高国产化率,并向完成对特气生产及应用的全套技术开发的目标努力,技术包括:高危、、腐蚀性、气体纯化、监测、充装、输送、贮存技术,以及安全、技术、现场配气技术、回收与再利用技术等。同时为提高混合气使用效率,解决安全使用和运输电子气体,---是高纯氟气的问题, 以推动绿色气体的使用,以及满足降低处理废气成本和要求,从而确定高纯电子气体发展方向为:绿色气体、现场发生技术和回收技术。


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