l半导体ic:使用典型的半导体工艺氧 化、光刻、外延、扩散、离子注入等)l 膜集成电路:厚膜ic 、薄膜ic 厚膜ic: 丝网印刷、烧结 薄膜ic :真空蒸发、溅射、化学汽相 沉积cvdl 厚膜混合集成电路(hic) 半导体技术、薄膜技术、厚膜技术
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