一、检测准备，
二、测试目的，
三、测试仪器，冰箱检测，
四、测试位置，
五、测试步骤：
a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。
b.确认测试点及配置图编号。
c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录大值。
1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25m用微尘粒子计数计测试之，测试完毕，应列印其数值记录。
2．风速及风量检验:于ulpa下方约150m / m处，用热线式风速计测定，原则上每只ulpa测定两点，冰箱检测价格，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积ulpa之面积)。
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，冰箱检测标准，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，冰箱检测设备，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是-措施之一。
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