本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺:半导体硅片除气;3d打印金属工件与合金材料的高真空热处理;x射线管高真空除气。
真空测量装置:采用复合真空计,使测量准确。
加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,真空储存柜生产厂家,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,真空储存柜价格,为获得较好的真空提供了-的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,真空储存柜品牌,为获得较好的真空提供了-的物质基础。
设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。
设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括:1在正常情况下,真空储存柜,在保修期间内非人为因素引起的一切设备问题和自然磨损;2备品备件清单,供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。3在保修期内由需方使用不当造成的维修,只收需方的材料费。
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