电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，电力铸铝件-检漏系统，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，大多数较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，供应上较-，故成本也较高。
为了正确使用-气检漏设备，在充入检漏气体前有-对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，-检漏系统，-气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。-气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果。
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，空调换热器-检漏系统，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，
其测量工作原理如下。-质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用-气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，空调制冷真空箱-检漏系统，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让-离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集-离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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