-气检漏仪是-质谱检漏仪((helium mass spectrometer leak detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其中心部件质谱室，使不同的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收1器接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
专门设计的以-气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为-质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、-、安全、反应速度快等优点。-质谱检漏仪中用得较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
众所周知，当一个带电质点正离子以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场h的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆，如图1所示。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比m/e的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的-离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有-离子才能通过狭缝而被接收极接收形成-离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，电力中高压电力环网柜真空箱检漏设备，如果用-气喷吹漏孔，-气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
选择示漏气体(示踪气体的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全-；价格低。
质谱检漏仪通常选择-气作示踪气体，主要原因如下：
1、-在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少在空气中约含5.2ppm，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、-的小相对分子为4，易于穿过漏孔。这样，-较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、-是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在-两侧的是氢质荷比为2和双电荷原子碳质荷比为6，质荷比都与-相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找-峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的-离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、-在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使-信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能如小、易通过漏孔比-还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底-且波动大，以致灵敏度大-低，所以很少采用。
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检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射-气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上-气在真空系统中的传递时间，即为两次喷-的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。笔者根据实测经验，两次喷-的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷-后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷-。
清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对-的吸附和脱附作用的影响，清除时间一般要更长些。笔者-，在测试到数量级为10-9p a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8p a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。
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