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通用的沉积技术有化学气相淀积cvd、蒸发和溅射pvd。一般来说，其中还要夹杂低温≤500℃退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。
刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确地掩膜图形。现代化的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空系统，同时配有自动化的刻蚀终点检测和控制装置。刻蚀应用工况复杂，清洁性差，充入特种气体种类繁多，因此需要特殊处理的干泵和磁悬浮分子泵。
离子注入设备：离子注入是指在真空环境下，当离子束射向固体材料时，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并很终停留在固体材料中的现象。离子注入是半导体表面附近区域进行掺杂的主要技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备，需要高清洁的真空环境，以-离子掺杂浓度和剂量的准确性。
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在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，因为它可能比未暴露在压力高于150pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时，先关闭高真空阀，如果有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，再切断涡轮分子泵电动机的电源，使分子泵的转子减速。
一般来说，泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，在切断涡轮分子泵电动机的电源后，爱发科进口泵保养要多少钱，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。
例如，应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气，直到泵内压力达到-压。通过从阀门3见图1充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时，不应经常充入压力为-压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后，即可关掉机械泵系统，并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。
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有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？原因：防护网，前级管道解决方法：优化系统设计6、真空度-的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？原因：油池或密封-解决方法：检查油池7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统
分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如m5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等。
、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？答：电压不稳强干扰高压打火认为11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却-会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
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