电子工业用高纯度混合气一般会用来焊接以及用于气相外延生长,下面随着我一起来了解一下吧,希望下面的信息可以给你带来帮助!
电子工业用混合气是指在-集成电路lsi、-规模集成电路vlsi和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺工序的一类特殊电子混合气。主要有外延生长混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。
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在化工厂使用高纯度混合气,高纯度混合气中比较常见的有什么?应该要了解关于它的性质,下面随着我一起来了解一下吧,希望下面的信息可以给你带来帮助!
干燥空气:21%氧气和79%氮气的混合气体
-混合气体:2.5%-+27.5%氮气+70%-气
-分析混合气体:5%-+20%氧气+75%氮气混合气体
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