一般检漏都采用-气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是-气。-气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；定制的的密封接头，减少误判。主要配置：检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱模块。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是-压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但-压力不合格。(1)-压力合格，升压率不合格-压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，工业真空检测解决方案，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
喷-法、吸-法是-质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。-质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。-气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，-系惰性气体，不腐蚀设备，故常用-作示漏气体。用于电厂检漏的-质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
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