利用-气是比氢气小的第二轻的惰性气体，-气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入-气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有-气在管道外部。这就是管道中-气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件，-气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满-气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有-气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留-气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的-气。看到这里大家得注意，-气的价格不菲，进行一次-气检漏的费用自然不低。
-气怎么检漏，-气检漏就是利用了-气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的-气。检测时首先探测到-气的点，得到-气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。-检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。
今天科仪的小编和大家分享的是-质谱检漏仪的工作原理，希望对您有所帮助！
-质谱检漏仪是一种以-气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体-气有响应信号，而对其他气体没有响应，从而检漏。
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的-气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，-气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中-分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余-气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的-气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入-质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，sf6真空箱检漏设备，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
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