技术参数
-光源：紫外led光源波长：365nm;
-面积：4英寸、6英寸可选；
-方式：单面接触式定时-；
-分辨率：2um；
-强度：20~200mw/cm2可调；
-不均匀性：≤5%；
光源平行性：≤2°；
光源寿命：***20000h；
电源输入：ac220v±10v，50hz
功率：250w
重量：25kg
外形尺寸：382长*371宽*435高
工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %
顶旭苏州微控技术有限公司是一家-于微流控领域的-企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累，持续将专ye知识与-思维相结合，为客户提供高pin质的解决方案。
-操作步骤
1、安装硅片：将待-硅片平放在设备的载台上，-位置准确。
2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定-参数：使用控制面板设置-时间和强度，根据具体需求进行调整。
4、启动-：确认参数设定无误后，-启动按钮，设备将开始进行-。
5、监控-过程：在-过程中，您可以通过设备界面监控-进度，-一切顺利进行。
6、-完成：-结束后，显影机，设备会发出提示，取出硅片和光刻板。
使用方法该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：
一、-前准备工作
1、硅片处理：-待-硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查：仔细检查设备，-所有部件处于正常工作状态，-操作环境-。
顶旭苏州微控技术有限公司是一家-于微流控领域的-企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
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