目前，关于pdms. 与硅基材料低温键合的方法多种多样。在制作硅- pdms多层结构微阀的过程中，将pdms直接旋涂、固化在硅片上，实现硅- pdms薄膜直接键合，这种方法属于可逆键合，键合强度不高。在制作生物芯片时，广东亲水处理，利用氧等离子体分别处理pdms和带有氧化层掩膜的硅基片，pet 亲水处理，将其键合在一起。此方法实际上是pdms与sio2掩膜层的键合，亲水处理目的，但在硅表面由热氧化法制得的sio2膜层与pdms的键合效果并不理想。
亲水性hydrophilic，对水具有亲合力的性能。如·：金属版材如铬、铝、锌及其生成的氢氧化物以及具有毛细现象的物质都有-的亲水效果。在有机物中表现为-和羧基等的亲水性，即它们使该有机物易溶于水。 疏水性hydrophobic，对水具有排斥能力的性能。如：印版图文的亲油成分和印刷油墨都具有-的疏水性。在有机物中表现为和-环等的疏水性，即它们使该有机物难溶于水。
亲水性足指分了能够透过氢键和水分了形成短暂键结的物理性质。疏水性指的足个分了(疏水物)与水互相排斥的物理性质。由此可见亲疏水性足个相对的概念，可以用浸润性来统称。水分了子附在硅片表面会展开，附在固体硅表面一定表面积上彤成液态水分子、气态空气及固态硅表面的e相平衡关系。在固、液、气三相交界处，自固/液界面经过水分子内部到气-液界面的夹角叫接触角，以0示之。平衡接触角与固/气、固/液、液/气界面自由能之间满足t.
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