外延片制作出来以后,就可以按照下面的流程来制作
外延片***清洗***镀透明电极层***透明电极图形光刻***腐蚀***去胶***平台图形光刻***干法刻蚀***去胶***窗口图形光刻***去胶***n极图形光刻***预清洗***镀膜***剥离***p 极图形光刻***镀膜***剥离***研磨***切割***芯片***成品测试。
在生长完外延片后,led芯片厂家,下一步就开始对 led 外延片做电极p 极,n 极,接着就开始用激光机切割 led 外延片以前切割 led 外延片主要用钻石刀,制造成芯片,然后在晶圆上的不同位置抽取九个点做参数测试,看看是否合格。
从上面可以看到 led 外延片和芯片的生产离不开 mocvd 、光刻机、刻蚀机、离子注入机、减薄机、划片机、检测设备等高i精尖设备。 led 芯片产业属于重资产行业,从事该行业需要先重金购买的生产设备,还需要配置洁净无尘厂房,同时在各个环节还需要大量的工人。所以该行业是典型的:资金密集型、劳动密集型和技术密集型同时具备的产业。
电子芯片和
1,芯片的裸die尺寸相差不是太大,如cm/mm/0.1mm这个量级,但同样大小的集成电路里面有非常复杂的电路常说的7nm/10nm工艺,ic设计和制造一样为非常复杂高难度的工程,led芯片价格,由此衍生既像intel、三星这样设计制造一体的公司,也有高通、苹果这样的fabless公司及台积电这样的代工厂;而分立器件一颗die就是独立的一个发光源再加上正负电极,里面的制程可能100um/10um级就够了,制造工艺流程也简单很多,从头到尾一百次左右工序就差不多了。更谈不上独立的led ic设计公司。
2,滁州led芯片,芯片制造厂对清洁和低缺陷率要求-,前者可能影响性能,缺陷多了,载流子移动速度上不来,如同一批货,led芯片多少钱,有的能跑2.8ghz频率,有的只能跑2g以下;led芯片对发光层缺陷率的要求比硅器件还要高几个数量级印象中数据,否则-影响发光效率,也就是很大部分能量以热能形式损失掉了。led技术和产品已有几十年历史,但-使用如液晶屏幕背光是这二十年来的事情,材料不行导致发光效率低是首要原因。
分子束外延法属于物理气相沉积pvd里的真空蒸发法的一种,广泛用于制造各种光集成器件和各种超晶格结构薄膜。
芯片制造全部工艺的成品叫做晶圆wafer,前道工艺流程中的一个环节是薄膜沉积,也就是真空镀膜,分子束外延就是薄膜沉积的一种方法,在裸硅片或者其他衬底上利用分子束外延法镀上多层薄膜,形成该芯片所需要的结构,用分子束外延法制作出来的已经完成镀膜的半成品就是
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