纯银零部件生产加工-沈阳东创【恪守诚信】-铁岭纯银零部件

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2024-1-27  
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人类社会的存在,科学技术的进步和发展,已成为21世纪首要的战略储备物资,且与各国的-经济和社会发展有着息息相关的紧密联系,在已知的传统产业和应用领域中,高纯材料、合金、各种深加工的制品半成品及化学制品,已被广泛应用到冶金钢铁,石油化工,有机化工,化工,纯银零部件生产加工,电子电器,汽车制造,光学玻璃,玻璃纤维。




而未米的0.18um}艺甚至0.13m工艺,所需要的靶材纯度将要求达到5甚至6n以上。铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及-的电阻率,能够满足!导体工艺在0.25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,铁岭纯银零部件,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。



为了解决以上这些问题,需要在铜与介质层之间设置阻挡层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,因此要求阻挡层厚度小于50nm,与铜及介质材料的附着性能-。铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的.需要研制新的靶材材料。铜互连的阻挡层用靶材包括ta、w、tasi、wsi等.但是ta、w都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬等的台金作为替代材料。


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