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真空设备检漏与维修

随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品的重视,-质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。-质谱检漏方法以下简称-检以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。-检方法基本上可分为用-气内部加压法和设备内部抽真空外部施-这两种,由于后者需将设备完全-真空状态,往往会增加试验用设备如高、低压真空泵、真空阀等和设备工装如外压加强圈而使造价提高,所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言,通常优先选用种方法。

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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备真空镀膜机,液晶注入机,pvd,空调真空箱-检漏设备,半导体外延等等,需要在真空条件下工作,-检漏设备,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等,要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果-,一般会造成有效物资的浪费,电力铸件-检漏设备,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。

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-质谱检漏仪:




1、-气的轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,真空箱-检漏设备,因此响应快,检漏灵敏度高。

2、-离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶-离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中-离子通过的各个缝隙,从而提高-离子的传输率。

3、-在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中-气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。





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