IGX100N半导体真空泵维修-厦门太星机电

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2024-3-10  
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高真空油扩散泵是一种蒸气射流泵,其工作原理是把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作-真空度在10-2~10-5 pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 pa范围内。



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扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为-真空镀膜机的正常稳定运行,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须-畅通,停止加热后必须-泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。




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利用水冷挡油帽,使泵的抽速稍有损失外,可使返油率降低。对于许多应用场合是允许的。若在系统附加些管道、阀门和弯管,可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光学密闭的障板,igx100n半导体真空泵维修,可-主要返流,但使泵的抽速约下降50%。次要的返流即冷凝在表面上的泵油迁移和再蒸发是表面温度和泵油蒸汽压的函数,到达真空室的这种返流量取决于设置在泵与真空室之间的冷阱的几何形状和温度,常用液氮 77k冷阱来捕集油分子。因此真空室的压力明显地低于泵油的蒸汽压。障板或冷阱不仅必须光学密闭,而且还必须使进入障板或冷阱的油分子与冷面少碰撞一次。对于使用吸附剂如沸石的障板,为避免油分子直线飞行,要设置交错的吸附剂托盘。沸石是一种含有直径比气体分子直径稍大的微孔物质。1盎司 28.35g沸石内部约有5英亩吸附面积,在小型真空系统中,使用分子吸附剂障板是有效的。因为在低压下,在几个星期内它能连续地吸附碳氢化合物和其它气体,并不需要液氮。


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