管道系统的布置方式
各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道，干管是指从总管分送到各单元的管道，气体减压器，支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道，各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。
管道系统设计的考虑因素
科学合理的管道系统设计，可以较低的成本实现-的功能与效果。通常考虑一下因素。
1.管道系统的布置方式
合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置，将楼层高降到底线，尽量减少输送和排放管道的交叉次数，降低建筑投资成本。
2.管道系统的维护问题
必须预留维修的空间，方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。
3.管道系统未来的改变
必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加，适应未来发展的需要。
4.管道系统的效率
尽量使各种管线短捷、经济合理，提升效率，降低运行费用与管道系统的投资费用。
5.建筑的形象设计
管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量，可采用实验室模块分散式管井，也可采用集中式大型竖井，必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要，曹勇美观的管道系统。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前-规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管ss304ba、ss316ba、不锈钢电抛光管ss316l-ep等，气体减压器供应商，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。
注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，气体减压器公司，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。
对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间-真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
气体管道安装流程
1、施工前准备：真空管道安装前做好施工材料的清点领用准备。
2、材料防腐：防腐施工是真空管道安装项目的重要环节。在安装工程中常用的的防腐材料主要有各种有机和无机涂料、玻璃钢、橡胶制品、无机板材等。
3、管道配管：冷热管尽量分开布置，分不开时，热管在上，冷管在下；真空管线应尽量短，气体减压器报价，减小阻力，达到真空度。
4、支架第i一阶段安装
5、管道安装及支吊架第二阶段安装
6、管道对口、焊接：对口的关键是破口要合适。焊接时，要注意选择与管道材质相匹配的焊条，用评定好的焊接工艺进行焊接。
7、阀门及特殊部件的安装
8、支架和管道安装符合性检查
9、严密性试验及水压
10、系统的冲洗和吹扫
11、支吊架调整
12、安装结束及记录文件整理
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