在电子学方面真空镀膜更占有较为重要的-。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器，约瑟夫逊器件、电荷耦合器件( ccd )也都甬道各种薄膜。
在元件方面，电子派瑞林绝缘镀膜，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器，蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。
电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中，塑料派瑞林绝缘镀膜，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，金属派瑞林绝缘镀膜，-适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
优点：
1、电子束轰击热源的束流密度高，能获得远比电阻加热源的能量密度。
2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内，因而可避免容器材料的蒸发，以及容器材料与蒸镀材料之间的反应，这对提高镀膜的纯度-重要。
3、热量可直接加到蒸镀材料的表面，因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。
真空镀膜加工的基本技能要求
9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的巨细，均按gb/t11164-1999中的4.4.6
10、其他注意事项
1环境温度：10-30oc
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