1、炉型结构：卧式与立式，硅片除气装置，单室与双室或多室，炉体炉门采用双层水冷，前开门结构。由炉体、加热系统、真空系统、充气系统、水冷系统、电控系统组成。
2、-温度：1500℃
3、工作区尺寸：按照用户需求定制
4、设备总功率：20-100 kw含加热系统、真空机组、制冷机
5、电源频率：50hz
6、电源电压：三相380 v±10v
真空测量装置：采用复合真空计，使测量准确。
加热烘烤组件：采用铠装管加热，包括工件托盘及支架，箱室顶部中心测温。功率：9.5千瓦，控制精度：±1℃。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了-的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵：选用涡旋干式真空泵，硅片除气装置公司，无油运行，可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵：选用脂润滑复合分子泵，可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，硅片除气装置生产厂家，为获得较好的真空提供了-的物质基础。
1、加热区尺寸：定制
2、加热功率：30-80 kw实际功率可调
3、加热元件：钼片
4、隔热组件：钼+不锈钢
5、温度测量：s型热电偶
6、控温精度：±1℃
7、升温速率 ：由室温升至1000℃小于80min空载
8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，-体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现-的温度均匀性。具有使用-、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢310s板材料，并且焊接多道加强筋以-不变形。
9、加热控制：采用pid智能控温模块设计，可编辑30+段升温曲线，存贮20+组工艺配方，硅片除气装置，组合plc等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能-，稳定性好等特点。
|
登录后台
