emmi微光显微镜
微光显微镜emission microscope， emmi是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜emission microscope， emmi是一种相当有用且效率-的分析工具。主要侦测ic内部所放出光子。在ic元件中，ehpelectron hole pairsrecombination会放出光子photon。如在p-n结加偏压，此时n阱的电子很容易扩散到p阱，而p的空穴也容易扩散至n，等离子开封机设备，然后与p端的空穴或n端的电子做ehp recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，等离子开封机，微光显微镜可分析p-n接面漏电；p-n接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电生的光子激发；l-h up、gate oxide defect、junction leakage、hot carriers effect、esd等问题.
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