准分子(excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子he2、ar2、xe2等；其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。co2激光辅助鼓膜成形术的总体满意，与传统手术相比，激-体，该手术方式具有操作简便、创伤小、且可重复进行的优点。铜蒸汽激光产品可发生100w以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm)，金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。这两种激光有很多用途，例如血紫质衍生物(hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm，而癌细胞能吸收此物质。此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化，发生可癌细胞的物质。不过，铜蒸汽激光激起染料激光，罗芬激-体，也可得到这种光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能够除去某些-，作用优于用氩离子激光。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，-是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将-(he)-(ne)激光作为代气体激光，-激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的--(krf)激光，可称为第三代激光。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如arf， krf， xef， krcl， xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。准分子(excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子he2、ar2、xe2等；其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。
激-体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯-纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯-气的纯度要求99.999%，准分子激-体，-是产生激光的，-气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤-大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求-高。如果将-(he)-(ne)激光作为代气体激光，激-体厂家，-激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的--(krf)激光，可称为第三代激光。如果将-he-ne激光作为代气体激光，-激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的--krf激光，可称为第三代激光。
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