近年来还出现了超声波清洗的一种特殊应用-超声波除垢。超声波除垢主要是利用超声波强声场处理流体，使流体中成垢物质在超声场的作用下的物理形态和化学性能发生一系列变化，使之分散、粉碎、松散、松脱而不易附着管、器壁形成积垢。作为超声清洗的特殊应用，超声防垢广泛应用在锅炉、热交换装置和管道防垢、除垢领域。
兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡，而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面，晶圆清洗价格，使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。
技术早出现于20世纪30年代早期，当时，位于美国新泽西州的美国无线电公司的一个实验室中的-尝-自制的简陋超声波清洗系统清洗某些物体，但试验未获成功。在此基础上，超声波清洗技术在20世纪50年代有了很大的发展，当时使用的超声波工作频率在20～ 40 khz之间。该范围内的超声波被应用在数千种不同的工作场合下，晶圆清洗公司，其中许多是别的清洗手段不能-发挥作用的场合。超声波可以对工件施加非常-的能量，尤其适用于清除牢固地附着在基底上的污垢。然而在某些情况下，超声波-的能量也会损伤粘有污垢而性质脆弱的基底材料。在过去的十几年中，超声波领域中出现了一些技术-，提高了清除敏感基底上的污物的安全系数。在此期间，超声波技术，晶圆清洗，-是中高频超声波清洗技术有了新的发展，并成为行业的亮点。近年来，人们发现用兆声波(根据超声波的频率不同，晶圆清洗，把40 khz及其以下的称为常规或低频超声波，把1 000 khz以上的称为高频超声波，又称兆频超声波，简称兆声波)清洗可以去除掉半导体材料表面上的超细污垢微粒，并且不会损伤基底材料的表面。目前这项技术已经得到了很快的普及。
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