普发分子泵控制器--潽拓光电(商家)

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2025-1-7  
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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样,其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积,以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下,云浮普发分子泵控制器,轴端是密封的,是利用带水封环的填料进行密封处理的,其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的



pfeiffer tmh071 p涡轮分子泵大量用于pfeiffer、agilentvarian、 ulvac、inficon、vst、abi、shimadzu等分析设备及-检仪中分析仪器如-质谱检漏仪,及小型分子泵组中。德国普发pfeiffer tmh071 p分子泵进气法兰口dn63 iso-kf/dn63 cf-f,出气法兰口dn16iso-kf,抽速可达到60l/s, 转速为90000rpm,-真空<1*10e8mbar; 对应的控制器为pfeiffer tc600.



当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,普发分子泵控制器烧坏,表面分析仪器,残余气体分析仪及-质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,z近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,针对这种现状,普发分子泵控制器价格,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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涡轮分子泵性能

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为10~10;对氢为10~10;对分子量大的气体如油蒸气则大于10。

泵的-压力为10pa,工作压力范围为10~10pa,抽气速率为几十到几千升每秒(1l=10m)。



涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面zui大尺寸的流态)下工作才能显示出它的性,因此要求配有工作压力为1~10pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。




不要长时间在高压力下工作

包括油旋片真空泵在内的好多粗真空泵都可以从-压直接启动,但不代表它们可以长期在-压或者比较差的真空下工作。旋片真空泵长时间在比较差的真空度下工作时,普发分子泵控制器-,大量的润滑油会以油雾甚至油滴的形式从排气口喷出,造成·泵油损失;另外,真空度比较差时,真空泵-也会比较-。

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pfeifer duoline旋片泵盖了中低真空范围(zui高为10-3 hpa)的所有应用。即使对于像干燥工艺、冶金工艺或树脂究注系统等要求苛刻的工业应用,这些泵也能提供-的操作一作为单独的泵,或者在我们的罗茨泵组或涡轮分子泵组中作为前级泵。得益于其-性的驱动器概念,这些泵都被密封,使得它们清洁且与环境兼容。由于磁耦合旋片泵没有径向轴密封件,所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保养中心



真空泵维修:

真空泵全拆修叫做大修,对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵,其真空度仍低、仍有渗漏等现象;或者有些泵有下述现象之一者:

如泵发生“卡死”现象,油很脏而且泵内已结了垢,生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳硅汕进入机械泵内,就可能产生这种情形,旋片有较大的撞击声,泵腔内落入异物金属屑、玻璃屑、铜屑等划伤泵腔,摩擦-温升很厉害超过70℃等,均需将真空泵全拆开进行清洗修理。



根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:

(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kpa(10~760mmhg)为粗真空。

(2)油泵,压强可达0.133~133.3pa(0.001~1mmhg)为次高真空。

(3)扩散泵,压强可达0.133pa以下,(10-3mmhg)为高真空。

若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3pa(1mmhg)以下。

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