特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2，减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3，刻蚀工艺用到 cf4；特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，工业特种气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于-规模集成电路及分离器 件、光电子等-领域；特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与-性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“-”。
电子工业是当今推动科技发展的-产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体，特种气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。 特种气体(spe-ltygases) 气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体是工业气体中的一个新兴门类，特种气体厂，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，特种气体价格，-是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体的储存注意事项：高压容器内，存有内容物时，无论内容量多少，在该容器储存场地2m内，严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和-性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和-性，
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