经过近半个世纪的努力，今天的-质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面：
1便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
2高压强下检漏：检漏口压强可-数百帕左右，检漏回收系统，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
3自动化程度高：自动校准-峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
4全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，汽车空调检漏回收系统，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，汽车空调检漏回收系统，提供了有利条件。
5检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，范围很宽，不仅可检测-气，而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，汽车空调检漏回收系统，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如：瑞士、日本采用改变分子泵转-达到此目的，且提高检漏灵敏度。
另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了-的条件。
利用-气是比氢气小的第二轻的惰性气体，-气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入-气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有-气在管道外部。这就是管道中-气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件，-气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满-气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有-气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留-气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的-气。看到这里大家得注意，-气的价格不菲，进行一次-气检漏的费用自然不低。
-气怎么检漏，-气检漏就是利用了-气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中，利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的-气。检测时首先探测到-气的点，得到-气的水含量，再利用色谱仪计算出氢气、氧气、c02气体等杂质。-检漏有两种工艺，一种是背压法，另一种则是真空箱法。
漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔-中温度不一致，需要将标准漏孔-中漏率和标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔-中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔-中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；
方法二: 将标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔-中环境温度下，用标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
|
登录后台
