真空箱式-检漏系统--检漏系统-北京科仪-真空

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2019-12-12  
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-质谱检漏原理

-质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体-气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。-质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,-检漏系统,-气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室-气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,-检漏仪的收集板只允许带正电的-离子被接收到,单位时间到达收集板的-离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板-离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

-质谱检漏仪的示踪气体选用-气,是因为-气具有以下优良特性:

-气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果-气在环境中的含量超过标准,空调蒸发器-检漏系统,可以比较容易地探测到极微量的-气;

-分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;

-离子荷质比小,电力开关真空箱-检漏系统,易于进行质谱分析;

-气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;

-气-,不凝结,极难容于水。

今天科仪-小编和大家分享的是-质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!







-质谱检漏仪的原理

-质谱检漏仪一般由质谱管,冷凝器-检漏系统,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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-质谱检漏仪测量数据处理

漏率的温度修正

标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ,所以如果实际环境温度和标准漏孔-中温度不一致,需要将标准漏孔-中漏率和标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,修正方法如下:

方法一: 将标准漏孔-中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔-中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;

方法二: 将标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔-中环境温度下,用标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。

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