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气体传感器种类人们已经发现sno2、zno、fe2o3、cr2o3、mgo、nio2等材料都存在气敏效应。用这些金属氧化物制成的气敏薄膜是一种阻抗器件,气体分子和敏感膜之间能交换离子,发生还原反应,引起敏感膜电阻的变化。作为传感器还要求这种反应必须是可逆的,即为了消除气体分子还必须发生一次氧化反应。传感器内的加热器有助于氧化反应进程。
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气体传感器样式在sno2材料内掺杂是---传感器选择性的主要方法,添加pt、pd、ir等-不仅能有效地提高元件的灵敏度和响应时间,而且,催化剂不同,导致不同的吸附倾向,从而---选择性。例如在sno2气敏材料中掺杂-pt、pd、au可以提高对ch4的灵敏度,掺杂ir可降低对ch4的灵敏度,掺杂pt、au提高对h2的灵敏度,掺杂pd降低对h2的灵敏度。
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气体传感器定做按计算,在sno2中加入3~5%的tho2,5%的sm2.在600℃的h2气氛中烧结,制成厚膜器件,工作温度为400℃。则可作为co检测器件。上图右图是烧结温度为600℃时气敏器件的特性。可看出,工作温度在170~200℃范围内,对h2的灵敏度曲线呈抛物线,而对co改变工作温度则影响不大,因此,利用器件这一特性可以检测h2。而烧结温度为400℃制成的器件,工作温度为200℃时,对h2、co的灵敏度曲线形状都近似呈直线,但对co的灵敏度要高得多,可以制成对co敏感的气体传感器。
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