无尘车间工程主要包括无尘车间设计、施工和运行管理前后相关的三个环节。源于设计,设计是---。而净化工程的施工又区别于一般的建筑工程,包括围护结构(俗称“房中房”);空调净化系统;供电、自控、弱电系统;纯水、特气、物料供应系统;废气、废水处理系统及相关设施。运行管理包括:实时检测,人员培训,净化车间多少钱,设备维护,以---受控的生产科研环境持续符合要求。
三个环节涵盖了空态、静态、动态三个占有状态;环境受控又融合了风险评估、生产的概念和程序;加之洁净技术跨行业、跨、跨学科的特点:使之无尘车间工程的难度和复杂性增加。因此对于无尘车间工程行业来说,优化设计、现场施工环境的协调与-、工程相关技术细节的经验积累,对客户需求的理解和实现,以及对设计变更的准备和响应程度等都是衡量无尘车间施工团队能力的重要指标。
净化车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的---的洁净度以及温湿度,净化车间报价,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照---惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,净化车间价格,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,台州净化车间,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的---,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了---无尘标准的---。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于---,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880w/m2,1000级冷负荷指标:480w/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600w/m2(普通区域放置测试设备,---量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用fhu+dcu+ffu的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,fhu为新风机组(freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
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