被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，
泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
真空容积
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
主真空泵的选择计算
s=2.303v/tlog(p1/p2)
真空泵在其工作压强下，水环式真空泵，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4
、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要
求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵有---的抽速，但
不能抽---，而三极型溅射离子泵，
或二极型非对称阴极溅射离子泵对有一定的抽速，
两者组合起来，
便会使真空装置得到较好的真空度。
另外，
有的真空泵不能在---压下工作，
需要预真空；有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5
、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，什么是水环式真空泵，如：水环泵、
分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油
污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
开启备用泵和运转系统间联络门，关闭备用泵的配风门，使备用
泵低负荷与运转泵并联运行。
3
、当备用泵带负荷运转正常后，关闭其放空门。
4
、停止原抽放泵运转，并开、关有关阀门，水环式真空泵工作原理，调整备用泵的流量。
3
、无论是抽放泵还是加压泵的互换运行，均不允许间断瓦斯利用，
否则必须提前通知用户或其主管单位。
4
、
抽放泵的互换运行应避开用气高峰时间。
5
、两台并联运行的抽放泵需要与另外两台抽放泵互换运行时，必须
停泵后进行。
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