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 在当前技术水平下,微切削加工技术已经可以生产出来具有不同层次的3d微型结构,从而可以生产出体积非常微小的微型传感器敏感元件,象毒气传感器、离子传感器、光电探测器这样的以硅为主要构成材料的传感/探测器都装有---的敏感元件
 
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  新技术---的到来,开始进入 信息时代。在利用信息的过程中,压力传感器,首先要解决的就是要获取准确---的信息,而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。
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c.测量精que度高。典型产品在u***1m/s时,温度传感器,精que度可达到±0.3%r甚至±0.2%r。
d.范围度大。---精que度的范围度一般可达40:1,可测范围可达200:1,例如ifm系列产品,在v=0.06m/s时,基本误差仍可小于±2%r。
 
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