当变压吸附制氧机吸附器吸附到一定程度，其中的吸附剂将达到饱和状态，此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反)，真空度为0.65-0.75barg。已吸附的水分、-、氮气及少量其它气体组分被抽出并排至-，吸附剂得到再生。变压吸附制氧机的每个吸附器都交替执行以下步骤:---吸附---解吸---冲压上述三个基本的工艺步骤由plc和切换阀系统来实现自动控制。
psa法能够生产纯度80%~95%的氧气，制氧电耗一般在0.32kwh/nm3～0.37kwh/nm3，吸附压力高于-压，一般在30kpa～100kpa，工业变压吸附制氧机，流程简单，常温下工作，自动化水平高，可实现无人化管理，-是安全性好。在真空解吸流程中，装置操作压力低，容器等不受压力容器规范控制。变压吸附工艺按吸附器的数量，分为单塔流程、两塔流程、三塔流程和五塔流程等。五塔流程的变压吸附法为常用，变压吸附制氧机器，就是用5个吸附床、4台鼓风机和2台真空泵，整个周期中保持2个床在吸附和抽真空，解决了-产氧的技术问题 。
变压吸附制氧工艺具有以下优点：一是采用-进气压差自动充压技术，减少鼓风机送风量，延长设备使用寿命，降低氧气制造成本。 二是设备简单，主要设备罗茨鼓风机和真空泵运行稳定、-，分子筛的使用寿命在10年以上，无需维护。 三是产生的氧气量及纯度可根据实际使用情况进行调节，稳定纯度可达93%，psa制氧设备，经济纯度为80%~90%;产氧时间快，一般30min以内就可以达到80%以上的纯度;单位电耗仅0.32kwh/nm3～0.37kwh/nm3。四是变压吸附制氧与深冷法制氧对比有以下特点：投资低，变压吸附制氧机，流程简单，占地少，设备少，运动部件少;自动化程度高，基本可实现无人化管理;能够满足高炉富氧鼓风工艺要求。
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