-质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度p1 优于200 pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，-气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当p1降至20 pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 pa·m3/s。
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-气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，真空箱式-检漏生产厂家，1l液-气化为标准状态下的-气体积为700l。
-规定的瓶装-气按纯度高低分别为工业用-、纯-、高纯-三种。
1、工业用-：-含量***99%，露1点≤43℃.
2、纯-分三级：优等品-含量***99.995%；一等品-含量***99.993%；合格品-含量***99.99%。
3、高纯-分为三级：优等品-含量***99.9996%；一等品-含量***99.9993%；合格品-含量***99.999%。
-气在-质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，真空箱式-检漏，纯度要求不高，一般选用工业用-，即-含量***99%，露1点≤43℃。
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检漏仪在使用过程中需-注意以下几点：
使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，-时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(ups)。
仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。
检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，真空箱式-检漏厂家，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。
本文介绍了5 种检漏仪常见故障的分析与处理方法，其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节，当检漏部位的复检结果不一致时，就需检测仪器内部是否有漏。检漏仪内部结构紧凑，定位难度大，本文采用切断分子泵风扇电源和使用小流量喷枪的方式，提高了密封部位定位的能力。检漏仪是检漏工作的-部件，在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏-具有一定的参考价值。
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