传感器动态响应好:电感式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10(-5)n),需要的作用能量很小,又由于它的可动部分可以做得很小很薄,远距离漫反射型光电传感器,即很轻,因此其固有频率---,动态响应时间短,能在几兆赫兹的频率下工作,---适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电,小型远距离检测型光电传感器,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。
可以非接触测量且灵敏度高:非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。
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