如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，净化无尘车间，通风和空调hvac，过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 hvac系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和hvac容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始投资，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期投资。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。
振动控制
洁净厂房和周围辅助性站房内有---振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。
对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件---，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取---的隔振措施。
精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气1弹簧隔振台座时，净化无尘车间报价，应地气源进行处理，净化无尘车间安装，使其达到洁净室的空气洁净度等级。
完成验收1.清洁工厂的检查和验收在每个分支机构的单机测试中进行，净化无尘车间厂，并且在生产负载系统的自检之后不进行测试。完成验收是对每个分支项目的单机测试和无生产负荷系统测试的验证，洁净室区域性能参数的检测和调试，每个分支的检验检验，以及测试和构建器所需的调试要求。 2.清洁工厂竣工验收后，应仔细检查竣工验收材料，一般包括下列文件和记录:(一图纸---记录，设计变更通知书和竣工图纸; 2各分支项目的主要设备和材料以及工厂的合格---和检验报告; 3各分支机构的独立设备，系统安装和检查记录; 4各分支机构的单机测试操作记录; 5分工项目和系统空载试运行和调试记录; 6各种管道检测和检验记录; 7各分项目安全设施的检查和调试记录; 8各分部项目的验收记录。
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