流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器mass flow controller缩写为mfc用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，数字流量计分类，分子束外延，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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流量控制器是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿，可根据需要进行流量设定，自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的流量，输出流量信号，不用其他设备。可以的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，数字流量计，而且温度，压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的流量控制器测量的气体的压力不低于20mpa，压力远远大于-压。高压改变了振动管的内应力，提高了弹性管的等效刚度，从而使振动管的振动频率增大，两管的相位差减小；气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。
二、温度影响
用于加气机的cmf工作温度远低于室温，数字流量---产厂家，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低，流速快，其影响不能忽略。理想情况下，流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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仪表连接管道的振动连接tmf的管道在常见实际范围内的振动不会产生振动干扰，在正常情况下不影响仪表的测量性能。惟插入式tmf的检测杆必须牢固地固定于管道，并避免装在有振动的场所。
脉动流的影响tmf响应时间长，不适应脉动流流量测量。若作测脉动流测量，应了解tmf的响应性，以-能跟随的上脉动的速度变化。脉动引起的测量误差通常使仪表输出偏高，其程度取决于脉动幅值和频率。
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