真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从-到真空有一个很大的范围,
蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华或蒸发而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,液环真空泵,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。
有的真空泵不能在-压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于-压,需要前级泵,液环式真空泵,故都需要把泵组合起来使用。真空泵与系统的连接管道应密封-,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,小型真空泵,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。
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