同时，人们把另一类气相沉积，即通过高温加热金属或金属化合物蒸发成气相，或者通过电子、等离子体、光子等荷能粒子的能量把金属或化合物靶溅射出相应的原子、离子、分子(气态)，在固体表面上沉积成固相膜，其中不涉及到物质的化学反应(分解或化合)，称为物---相沉积pvd)。
随着气相沉积技术的发展和应用，上述两类型气相沉积各自都有新的技术内容，镀膜设备，两者相互交叉，你中有我，我中有你，致使难以严格分清是化学的还是物理的。
pcvd的工艺装置由沉积室、反应物输送系统、放电电源、真空系统及检测系统组成。气源需用气体净化器除往水分和其它杂质，经调节装置得到所需要的流量，再与源物质同时被送进沉积室，在一定温度和等离子体等条件下，得到所需的产物，并沉积在工件或基片表面。所以，pcvd工艺既包括等离子体物理过程，镜片镀膜设备，又包括等离子体化学反应过程。
镀膜机工艺在装饰品方面的运用跟着经济的开展和生活水平的进步，眼镜镀膜设备，大家喜爱将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室表里装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五光十色。
镀膜技能在飞机防护涂层方面的运用飞机的钛合金紧固件，原来选用电镀办法镀镉。但在镀镉中含有氢，真空镀膜设备厂家，所以在飞翔进程中，遭到---、海水的腐蚀，镀层上简单发生镉脆，甚至导致---。1964年，选用离子镀办法在钛合金紧固件上镀铝，处理了飞机零件的镉脆疑问。在离子镀技能中，因为给工件施加负偏压，能够构成伪分散层、细化膜层安排，因而能够---进步膜层的耐腐蚀功能。
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