离子束加工是在真空条件下，离子束刻蚀机品牌，先由电子枪产生电子束，再引入已---真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应。由于离子带正电荷，其比电子大数千、数万倍，离子束刻蚀机，所以离子束比电子束具有的撞击动能，离子束刻蚀机工作原理，是靠微观的机械撞击能量来加工的。离子束加工主要特点如下：1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等较小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
离子束刻蚀以离子束为刻蚀手段达到刻蚀目的的技术，其分辨率---于粒子进入基底以及离子能量耗尽过程的路径范围。离子束较小直径约10nm，离子束刻蚀的结构较小可能不会小于10nm。目前-离子束刻蚀的束斑可达100nm以下，离子束刻蚀机安装，较以较快的直写速度进行小于50nm的刻蚀，故而-离子束刻蚀是纳米加工的一种理想方法。此外-离子束技术的另一优点是在计算机控制下的无掩膜注入，甚至无显影刻蚀，直接制造各种纳米器件结构。但是，在离子束加工过程中，损伤问题比较---，且离子束加工精度还不容易控制，控制精度也不够高。
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利用辉光放电原理将ya气分解为ya离子，ya离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击，以达到刻蚀的作用。把ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，射向固体表面轰击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，属纯物理刻蚀。
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