净化工程层流式:空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率百1分百之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为class1~100。
其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,1尘埃随风向排出室外,一般在---侧污染较---。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间-完全以ulpa过滤器覆盖,浙江净化,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,净化室工程,弹性运用空间困难,-之吊架相当占空间,净化车间工程,维修更换过滤器较麻烦。
光学微电子净化工程解决方案:
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
b、室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,洁净工程公司,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;-室内每人每小时的新鲜
空气量***40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是***25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是***15次/h)。
光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案
光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于-设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之-发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如---型积体电路之研究制造,已成为-在科技发展上-重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领1先-。
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