---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，空调---检漏设备保养，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，充气柜---检漏设备保养，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
在电力行业高压环网柜生产中的应用
真空箱式---检漏设备适用对充气环网柜以下简称工件进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04mpa，对被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性检测，---检漏设备保养，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。
一、内腔表面光洁度现设备腔体都是用的热板固光洁度镜面处理达到“▽7”
做为设备验收标准。
二、腔体外部面板烤漆处理-色泽均匀、亮度提升，加强筋及焊口、焊接时残留焊瘤、焊渣、上漆时进行多面抛光研磨处理。
三、设备腔体部分选用ss304板10mm厚，腔体法兰选用ss304板成活30mm.加强筋选用30mm*120mm.门面板成活15mm.-腔体部分厚实、美观。以此数据作为验收标准。
四、设备-护网选用40mm*40mm*5mm方管。网格选用φ8mm*8mm-护栏厚实美观。漆色执行用户技术要求外观颜色
七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40w日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。桔纹手感不明显。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作台抽屉进出顺滑、平稳。依据以上作为验收标准。
八、工件小车托盘见设备图纸作为验收依据
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真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
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