此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越-,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益-。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,郑州冲压件步进式喷淋清洗机,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
旋转喷淋清洗机
1. 巴克喷淋清洗机通过客户的反馈体验不断改进优化技术与设计,形成成熟的标准化设计,充分-了设备的,把故障率降至几乎为0。
2. 设备生产过程中进行严格的测量、测试,-产品的符合要求。工人经过严格的培训,操作熟练、-,生产出来的设备不但-,冲压件步进式喷淋清洗机定制,而且美观。
品质赢天下,诚信铸百年!济南巴克超声波科技有限公司是一家从事工业清洗设备的研发、制造、销售为一体的高新技术企业。巴克只做-的产品,提供完善的售后服务,始终做到对产品负责、对公司负责、对客户负责!
一、 主要参数一道清洗+一道风切:
1、清洗节拍:180s以上;
2、清洗压力:0.4mpa以上;
3、装机功率约:15kw;
4、占地尺寸约: 1200 l *1500w*1500hmm;
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