真空泵 维修-真空泵-锐创(查看)

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2021-4-9  
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真空泵进口调节阀的作用

真空泵一般是用来抽真空的,但是并不是所有的场合均要求真空度越低越好,而有的场合是要求控制在某一需要的真空度范围内,或者是真空泵的泵腔内压力过低,泵腔内会发生---的汽蚀,造成泵的振动、噪声过大而影响使用的时候,可以在泵的吸气区域增加一个真空调节阀,在上述情况发生时,可以适当打开调节阀以缓和振动和噪声的影响,或者是降低真空度,达到需要的真空度要求。这是为了合理地应用真空泵的一种方法。





真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmhg的真空度,水环式真空泵,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmhg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmhg下长期工作。

真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有---的抽速,但不能抽---,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在---压下工作,真空泵维修维保,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。






真空泵的技术术语真空泵除主要特性,---压力,流量和抽气速率之外,尚有一些名词术语表达泵的有关性能和参数。

1、启动压力。泵无损坏启动并有抽气作用时的压力。

2、前级压力。排气压力低于101325pa的真空泵的出口压力。

3、前级压力。超过它能使泵损坏的前级压力。

4、工作压力。对应流量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏。

5、压缩比。泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

6、何氏系数。泵抽气通道面积上的实际抽气速率与该处按分子泻流计算的理论抽气速率之比。

7、抽气系数。泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比。

8、返流率。泵在规定条件下工作时,真空泵,与抽气方向相反而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的流率。

9、水蒸气允许量(单位:kg/h) 在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的流率。

10、允许水蒸气入口压力。在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的入口压力。





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