高纯度气体的管道输送，将高纯气体送至用气点，并保持合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米小于o.35g.m技术，对气体中的杂质含量、水含量要求---严格，10 ppm级已经不能达到要求，需要达到10 ppb级，甚至10一~2ppt级，尘埃粒径要求控制到0.05-0。olla，m。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、纯气体的要求成为必须。
管道阀门及连接
气体管道普遍采用球阀、隔膜阀和波纹管阀，根据气体纯度、有毒性和可燃爆l炸性要求选择相适应的阀门。纯度在99.9999％以内的气体管道，采用304不锈钢球阀，可以采用法兰连接，法兰垫片为软金属垫片、聚四氟乙烯垫片。总杂质含量≤10ppm的气体管道，采用隔膜阀和波纹管阀。可燃爆l炸性的气体必须采用波纹管阀。阀门采用卡套连接，软金属整片。由于隔膜阀具有波纹管阀相同的密封性能外，还具有阀内死空间小、容易吹除干净、污染小等---特点，总杂质含量≤lppm纯度要求---严格的管道以及危险性---的气体管道，使用隔膜阀。阀门采用vcr卡套连接，软金属垫片。
高纯气体 高纯氢气
纯度(v/v)：99.999%
执行标准 ：
产品介绍 ：
，无色无味气体。 用于合成氨和---等、石油l精制，有机物氢化及。
使用要求
氢气是的气体，---销售，和氟、氯、氧、一氧化碳以及空气混合均有爆l炸的危险，其中，氢和氟的混合物在低温和---环境就能发生自发性爆l炸，与氯的混合为1：1时，在光照下也可爆l炸。
检修或处理氢气管道、设备、气瓶之前，必须先用氮气将氢气置换到符合动火规定，方能开始工作。瓶装氢在使用时开启瓶阀要缓慢。
瓶装氢气应存在无明火、远离热源、通风---、离氧化剂气瓶及可燃材料远的地方，氢气瓶的库房的建筑、电气、耐火、防爆、要求等应符合防火规范。
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