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铁氧体多晶薄膜的制备,浦江磁棒,如垂直磁化的钡铁氧体薄膜,---的对向靶溅射装置进行溅射。制备石榴石单晶薄膜,多采用在单晶基板上进相或液相外延法,其具体工艺过程同半导体单晶薄膜的外延方法---相近。
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