真空镀膜机真空器件的常用检漏方法 依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求，常用的有两种检漏办法，即---罩法和喷吹法这两种检漏办法具体介绍可见：---罩法和喷吹法的---质谱检漏仪检漏常见办法。检漏时，先用---罩法进行总漏率的测定，当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的认位。---罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后，用一个充溢---气的查验罩，把被检件全体或部分的表面面包围起来，如图4所示。查验罩充---时先将罩内空气排出再充---，以---罩内---浓度尽可能挨近100百分之，被检件---何地方有走漏。检漏仪都会有漏率值改变，显示出漏率值。---罩时刻也要继续3~5倍检漏仪呼应时刻。asm192t2---质谱检漏仪反应时刻小于0.5s,因而---罩时刻30s即可。---罩法可方便地测定被检件总漏率，不会漏掉任何一处漏点，但不能确认漏孔方位。喷吹法是将被检件与仪器的真空体系相连，对被检件抽真空后用喷枪向漏孔处吹喷---气。当有漏孔存在时，---气就经过漏孔进入质谱仪被检测出，喷吹法弥补了---罩法不能定位的缺点。
真空镀膜机中钨丝的注意事项：钨在常温下有较好的耐酸、碱能力，但在潮湿的空气中易被氧化，所以细钨丝不能在潮湿环境中贮存过久。另外钨在1200℃上下就开始与碳起反应生成钨的碳化物，所以对灯丝的烧氢处理要注意这个问题，否则钨与其表面的石墨润滑剂起反应，则灯丝就要变脆断裂。钨丝一旦经高温使用发生再结晶以后就变得很脆，在受冲击或震动的情况下极易断裂。在一些要求高---性的电光源产品中，为防止灯丝的断裂，常在掺杂钨丝中加入3～5％的铼，称为钨铼丝，它可以使钨的延脆转变温度下降到室温或室温以下。这是一种很奇特的铼效应，至今还未发现一种元素能代替铼，在钨中产生同样效应。
实验室中使用小型镀膜设备我们在实验室中使用的基本上都是小型的镀膜设备，下面我们就来了解一下这种设备。用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所，直径一般为400~700mm，高400~800mm，用不锈钢或碳钢制作，有水冷却装置。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，台阶覆盖性能---，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以---快速的工作循环，也要求---在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。
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