涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的,也比较容易控制,在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到,即
e二,*r,-2* a * r.-r (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数,也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒),并且该祸旋泵
为双侧涡旋,那么sth可表达为下式:
s1,=2仇、---ol卜(5.2)
其中vii, vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏,其实际抽速s要低于理论抽速sth,设p:为吸入口压力,p:为排气口压力,
q。为总泄漏,则〔10)
s*pl=sw*p,司t
则实际抽速为
g
j=j*一下了
r,
(5.3)
5.1.3---压力
涡旋式无油真空泵的---压力是指不进入气体长期运转,在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力,用p。表示。此时泵的实际抽速s=o,令式((5.3)中的实际
抽速s=o,即可得---压力〔10)
(5.4)
爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,爱德华罗茨泵维修eh250,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中---、产生和维持真空的装置。
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