瓦里安分子泵用途-广州潽拓光电-瓦里安分子泵

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真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染-、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装定位销.均匀对称地拧紧螺钉。对不同用途的分子泵比如耐高温，耐震动，耐腐蚀拥有丰富的设计经验和应用经验。装配后.应-转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，瓦里安分子泵说明书，再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件，如气镇装置等。

agilentturbo-v903安捷伦涡轮分子泵进气法兰口iso160f，出气法兰口kf25，抽速可达到680l/s

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潽拓——瓦里安分子泵，分子泵

分子泵在半导体设备中的应用在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。凡使用我司提供的真空泵耗材，正常使用过程中，在保用期内出现任何问题我司将对其免费更换。半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着-的要求。 瓦里安分子泵