化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用---之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。
干泵选择
cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能---粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以---泵在应力下保持 旋转。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以---避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。
爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中---、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，爱德华罗茨泵维修eh4200，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
edward真空泵油概述： 提供一系列新型油：ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生产。大多数制造商都采用溶剂精炼制程，而这些油则采用的湿法处理制程生产。这一制程不会产生氮、硫、氧和芳香烃类，因此可得到无任何杂质的清洁基料。
加入添加剂后，福田罗茨泵维修，ultragrade? 油可---真空性能、热稳定性和氧化稳定性，爱德华罗茨泵维修eh1200，不易生锈。油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，爱德华螺杆泵维修ih1000，从而延长换油时间间隔。特性与优势： 加入添加剂后，ultragrade? 油可---真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。
油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油时间间隔。
这些油所具备的以上特性使其适用于多种应用。
真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？
看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。
真空泵抽气量不足的故障原因：
泵的转速低于规定转速。
叶轮与端盖的间隙过大。
填料室密封漏气。
吸入管道漏气。
供水不组。
水环温度过高。
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