涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*r，-2* a * r.-r (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵
为双侧涡旋，那么sth可表达为下式:
s1，=2仇、---ol卜(5.2)
其中vii， vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏，其实际抽速s要低于理论抽速sth，设p:为吸入口压力，p:为排气口压力，
q。为总泄漏，则〔10)
s*pl=sw*p，司t
则实际抽速为
g
j=j*一下了
r，
(5.3)
5.1.3---压力
涡旋式无油真空泵的---压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力，爱德华罗茨泵维修eh4200，用p。表示。此时泵的实际抽速s=o，令式((5.3)中的实际
抽速s=o，即可得---压力〔10)
(5.4)
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概述
eh 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于---压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度---。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、co2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的---性。
eh 泵具有高的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
---的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用---级铸铁制造。
经验证的轴封布置可---没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。
轴封的设计经过优化，可---润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是---技术设备的制造商所需要的。
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