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洁净室状态有以下三个:空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室设施。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室设施,但是设施内没有操作人员。动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
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因此,必须选用或亚过滤器洁净级别低时作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。2 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型。
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尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。
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